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【求助】请教扫描电镜和超声电镜的分辨率

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 现在的超声电镜据说可以达到100A的分辨率.而扫描电镜最大可以达到多少啊?
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    +关注 私聊

  • annelugel

    第1楼2006/11/27

    SEM 3.0nm是极限了，热场FE-SEM可以到2.5nm~2.0nm.冷场的分辨率更好，不过可以装配的附件就少了。

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    +关注 私聊

  • 共工

    第2楼2006/11/27

    信息过时了，热场扫描电镜的分辨率已经突破一纳米了。

    annelugel 发表:SEM 3.0nm是极限了，热场FE-SEM可以到2.5nm~2.0nm.冷场的分辨率更好，不过可以装配的附件就少了。

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