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真空阀不停开关问题

susa1981

2017/07/31

透射电镜（TEM）

各位好！
电镜是JEOL2100F
每次取下样品杆都很小心，但有时真空度会掉。显示真空度的压力表会停掉。
过一段时间，电镜的真空阀会自动的开关，反复无休止。
我重启了电镜也不能解决。
请问是什么问题？如何解决？如何防止？
谢谢哈

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wshsun

第1楼2017/08/01

是不是离子泵也经常停开停开的状态如果这样的话那就说明有漏真空的地方需要检查一下你也可以试试将样品杆插进去试试看阀门还不断的停开吗？

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dingdangyu1030

第2楼2017/08/01

是样品杆的密封圈灰尘太多或是变形了吧，重新清洁一下，再抹上真空脂或换一个密封圈，试试看。

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susa1981

第3楼2017/08/01

谢谢回答
泵没注意，下次注意下。只听到阀开关的声音。
下次试试样品杆。也可能O圈问题，我仔细检查下。
我重启两次后，问题解决了。感觉不是好方法。
wshsun(wshsun) 发表:是不是离子泵也经常停开停开的状态如果这样的话那就说明有漏真空的地方需要检查一下你也可以试试将样品杆插进去试试看阀门还不断的停开吗？

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susa1981

第4楼2017/08/01

恩，谢谢
仔细检查一下。
dingdangyu1030(dingdangyu1030) 发表:是样品杆的密封圈灰尘太多或是变形了吧，重新清洁一下，再抹上真空脂或换一个密封圈，试试看。

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洪星二锅头

第5楼2017/08/08

最好要工程师检测一下样品室，可能有点问题

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