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微纳形貌分析利器——4D微纳形貌动态表征DHM

瞬渺科技

2017/10/13

透射电镜（TEM）

科研史上前所未有的观测手段——数字全息DHM可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。

表征透明/半透明三维形貌
Ø 测量厚度从几纳米到几十微米
Ø 可测最高三层透明薄膜
Ø 测量薄膜折射率
Ø 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps），还可测频率响应（高达25MHz）
主要应用
北京大学搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能
天津大学微结构表面形貌和运动特性测量
华中科技大学微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试
清华大学透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等

• 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试
配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能

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瞬渺科技

第1楼2017/10/16

全新科研视角4D微纳
动态三维形貌，亚纳米级分辨率
更多资料请访问www.lynceetec.com.cn或咨询payne@rayscience.com

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