【求助】beam tilt pivot point

各位高手帮帮忙，解答一下。

建议你请FEI的application engineer给你好好讲讲。
pivot point用multi－function XY调使斑点重合。

首先beam tilt pivot point是调节的是束偏转的两组线圈的支点（查help文件）如果不能重合一点，用多功能钮调节至重合。这对rotation center极为重要，你后面所看到的现象除与上述步骤不好之外，还有像散及电子枪的tilt、shift有关，不过在低倍时可观察到十字中心有亮点，这是场发射灯丝所固有的，不过我相信不是你所观察到的。调节光斑大小时见班变偏不小，这与你的对中有很大关系。spot size 在5-11都可作STEM，这与你想干什么有关。