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【讨论】JEOL 6510抽真空问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 不知道有同行遇到过这个问题吗?

    我同学的单位,一个企业,前几年买了个JEOl的6510 ,结果一年半左右出现真空抽的时间
    越来越慢的问题,普通样品,原来很快样品室的真空度就上去了,

    JEOL的工程师来了后好了一阵,结果过一段时间又是原来的问题

    再修一次,也是时好,时坏。
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  • 常怀千岁忧

    第1楼2009/11/04

    要么泵的问题,要么真空系统漏气

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  • huangtao0307

    第2楼2009/11/05

    查一下吧﹐可能是漏氣啊

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  • syning90

    第3楼2009/11/05

    6510一共也就出了2年左右,怎么会买了好几年呢?真空系统不好有很多原因,最简单的是你可以把电子枪和样品室门上的O圈摘下来检查一下,再打一点真空脂,如果还不行,就要请专业工程师来了。如果经常看有污染性的样品,也会导致真空度下降。

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  • guanjun19860820

    第4楼2009/11/06

    估计是有哪地方漏气吧?建议来个全面的维护,再检查一下油泵,不行就直接找厂家工程师,让他们给个说法!

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  • syning90

    第5楼2009/11/06

    楼主的电镜应该用的DP泵吧?如果只是前级泵慢的话可以坚持一下RP泵,看看油是不是脏了或者少了,或者检查一下过滤。如果是dp泵,或者是装配的分子泵慢的坏,那就只能找工程师了

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  • 驰奔

    第6楼2009/11/06

    真空系统非常重要啊,但也是最不容易检修的!

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  • wbf0312

    第7楼2010/01/24

    我公司也有一台SEM-5510LV的,常常出问题,其几天软件出了问题,工程师过来维修了OK,现在真空又抽不了了,这个机器毛病真多!

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  • 驰奔

    第8楼2010/01/24

    哪有老用不坏的机器。软件出问题还要工程师来修,你们是太有钱了!还是免费维修!

    wbf0312(wbf0312) 发表:我公司也有一台SEM-5510LV的,常常出问题,其几天软件出了问题,工程师过来维修了OK,现在真空又抽不了了,这个机器毛病真多!

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  • firesoul119

    第9楼2010/01/25

    应该过保了,是慢多少分钟呢?
    如果是我 就和售后联系看能做什么方面的检查;
    问售后如果是漏气(或泵有问题)对后期的使用有什么危害?
    同一问题3月内重复出现是否可以要求免费维护,直至问题解决?

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  • seal007

    第10楼2010/01/27

    把扩散泵的油换一下,老化了不稳定,绝对是这个问题!花不了多少钱

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