透射电镜(TEM)
小偷爸爸
第1楼2018/12/01
玻璃用酸溶解,然后用铜网
m3002960
第2楼2018/12/02
根据我们这的做法,其实离子减薄毕竟简单便宜,用691或者695也要不了多久??
TEM
第3楼2018/12/02
我感觉FIB成功率有可能很低,外延膜要是比较软的话,必须留大量衬底支撑外延膜吧?而且膜很有可能被pt污染吧?而且也很有可能被离子束损伤。我不专业,希望大家多多讨论
第4楼2018/12/02
那就是先切成小块,然后把玻璃腐蚀掉后,用铜网捞起来?您这样做过什么样品?听起来可行又不可行呀?腐蚀完后膜很有可能就碎了。酸里面捞出来得用水冲洗几次,把酸冲掉,这个过程膜很有可能也碎了。不知道这个过程会对外延膜造成什么损伤。但是碎掉的小膜或许也够电镜观察了
m3033883
第5楼2018/12/03
就用离子减薄吧。也不要挖坑了。
第6楼2018/12/03
磨到什么厚度离子减薄呢
第7楼2018/12/03
一般40到50微米。由于你的膜比较薄。可以考虑先在膜面粘一个铜环。保护膜。
第8楼2018/12/05
嗯嗯,知道了,感谢
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