zhquanming
第10楼2007/01/21
我得sem也是日本电子系列。其实从你的图片中已经隐约可以看到镀膜得形貌,提供几点意见:一、提高加速电压至25或30KV,目的是提高分辨率;二、提高放大倍数,因为沉积Ti颗粒实际尺寸会很小,至少应在1万倍以上观察才可看到颗粒,5万和10万倍应该更合适,可以从低倍率到高倍率多试试;三、减小工作距离,我的5410LV可以最低到8mm,不知你的是否可以更小,工作距离越近分辨率越高;当然,观察过程应该尽量将仪器调整到最佳工作状态,譬如可以选用最小的孔径光栏,调整象散到最佳,最佳的对比度等。当然如果有精力的话可以在午夜进行,可以避免周围的电压波动、噪音、震动等对仪器的使用影响。我的仪器验收时厂家工程师在午夜拍出了金颗粒,分辨率为3.5nm,在使用过程中经过调整仪器至最佳状态,我也曾拍到实际沉积的Au颗粒形貌,非常清晰。Good luck!