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【求助】扫描电镜中二次电子的穿透深度及吸收问题

  • zxr1231981
    2007/01/15
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问大家一下,扫描电镜是通过二次电子信息显示表面形貌。弱弱的问,二次电子有没有可能被吸收,而显示不了膜表面的信息?
    再问一下,二次电子的最小穿透深度是多少?
    谢谢大家了。
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  • xuexiren

    第1楼2007/01/24

    如果是深层的二次电子会被吸收而成为吸收电子,只有接近表层的二次电子才能逸出来显示表层情况。一般二次电子能够逸出的深度大概在10nm左右吧,再深了可能就出不来了。

    zxr1231981 发表:请问大家一下,扫描电镜是通过二次电子信息显示表面形貌。弱弱的问,二次电子有没有可能被吸收,而显示不了膜表面的信息?
    再问一下,二次电子的最小穿透深度是多少?
    谢谢大家了。

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  • instrumentcom

    第2楼2007/08/08

    应该是二次电子

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第3楼2007/08/09

    5-50nm深度,逃逸出来的50eV以下的就是二次电子

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  • redskinworm

    第4楼2007/08/10

    二次电子有可能被吸收,成为吸收电子。但探头是靠逸出的二次电子成象的,跟吸收电子没关系。而跟二次电子的数量有关,二次电子的数量主要决定于样品的二次电子产出率,加速电压,倾斜角度等。
    二次电子的产出深度在10NM一下,但穿透深度跟样品、加速电压等有关。这2个是不同的概念。
    不知楼主满意不?

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  • 共工

    第5楼2007/08/16

    楼主满意否我不知道,但我很不满意,您讲的都错了。

    二次电子的产率几乎不受加速电压的影响,这个很难让人相信,但是是事实。

    样本的影响对二次电子的产率也很小,只有在轻元素区有一定的影响。

    请您参考我以前的每周一问帖子,希望会有帮助。

    redskinworm 发表:二次电子有可能被吸收,成为吸收电子。但探头是靠逸出的二次电子成象的,跟吸收电子没关系。而跟二次电子的数量有关,二次电子的数量主要决定于样品的二次电子产出率,加速电压,倾斜角度等。
    二次电子的产出深度在10NM一下,但穿透深度跟样品、加速电压等有关。这2个是不同的概念。
    不知楼主满意不?

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  • 共工

    第6楼2007/08/16

    讲得很确切,同意您的观点。

    xuexiren 发表:如果是深层的二次电子会被吸收而成为吸收电子,只有接近表层的二次电子才能逸出来显示表层情况。一般二次电子能够逸出的深度大概在10nm左右吧,再深了可能就出不来了。

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  • bossvip

    第7楼2007/08/23

    所谓的二次电子一般指的是电子能量低于50EV的。

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  • zemb

    第8楼2007/08/23

    上传一幅图,供参考。



    E1≈1keV,E2≈5keV。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第9楼2007/08/24

    好图,收藏了,论坛就应该是这个样子嘀!

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  • cookhdy

    第10楼2007/09/16

    二次电子产额=二次电子信号强度/入射电子束强度
    影响二次电子的产额的因素:
    1.入射电子的能量;产额随着入射电子能量增大而增大,当时当产额到了一定值时,入射电子能量增加对产额的影响不大
    2.原子序数Z;Z增加,产额略有增加
    3.样品倾斜角;对于光滑表面,入射电子能量大于1eV时,产额与样品的倾斜角的余弦大致称反比

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