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扫描标准样品时,高倍数下注流时间长会发生图像偏移

  • Insm_8ce6ba52
    2019/02/23
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 在高倍下扫描图像会发现图像90s有10nm左右偏移,方向不一致。确认过样品台接地。
    +关注 私聊
  • fengyonghe

    第1楼2019/02/23

    样品与样品台之间有阻值会有少量积电引起图像飘移

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    +关注 私聊
  • Insm_8ce6ba52

    第2楼2019/02/23

    麻烦问下 90秒偏移10纳米左右是正常的吗?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:样品与样品台之间有阻值会有少量积电引起图像飘移

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