ICP-MS
tiger204
第1楼2019/04/10
除了你说的分子涡轮泵问题，接口部分也有可能是问题所在，锥孔过大或接口的地方密封度不够，进而导致了一下子进去二级真空的气体太多，超过了分子涡轮泵的负载
tuxlin
第2楼2019/04/10
点火时，隔离阀还没有打开，是不会漏真空的，等离子体稳定后才会打开隔离阀。如果是打开隔离阀后真空急剧下降，那可能是锥孔过大、安装不严密。
timstoicpms
第3楼2019/04/11
依次检查确认：采样锥装了没？采样锥背后的 石墨垫片是否还在？透镜组的三组螺母 是否拧紧？截取锥装了没？
dechuan
第4楼2019/06/15
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