扫描电镜(SEM/EDS)
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第1楼2024/09/23
真空度显示为 0 且无法排气,电流还忽高忽低,这可能是有地方出现故障了。首先检查一下真空系统的各个连接部位是不是有松动或者漏气的地方,比如管道连接、密封件等。也有可能是真空泵出问题了,检查一下真空泵是否正常运转,有没有异常的声音或者发热。电流忽高忽低的话,可能是电路方面有问题,检查一下电源线路是否接触良好,有没有短路或者过载的情况。如果自己不太确定问题出在哪里,最好找专业的维修人员来检查和维修
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