XYZ吹扫捕集报错，求助各位大佬！！！

应助达人

应该是没气了或者哪里堵了

应助达人

未达到质量流量控制器设定值。
检查储气罐中的气体，并确保正确连接了气体管路且没有泄漏。小心！在没有气体的情况下运行会使MFC过热。
重试：继续轮询单元。
禁用：禁用质量流量控制（MFC）； MFC在重新启动系统之前不会尝试控制流量。
第一个错误提示没气了，检查下气路是否正常，是否开气了。

泵错误：取样针停顿或失步。不再精确地知道位置，必须重新初始化注射器。
转到诊断并初始化泵。
如果问题仍然存在，请联系Teledyne Tekmar的技术支持以获取故障排除建议。
先试试复位取样针吧，检查下针自检的过程正常不

您好，您这问题最后解决了吗，我们仪器报错也显示的这个，不知道怎么解决

检查气体是否足够，关机重启是否正常，也可以吧吹扫管拆下来超声清洗试试

您好，您这问题最后解决了吗，我们仪器报错也显示的这个，不知道怎么解决

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