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安捷伦7900量测P元素含量

DK666

2021/03/02

发现一个现象，不知如何理解

背景：使用PO来量测晶圆表面的P含量，萃取液是HF+H2O2，线性拉取正常，萃取液的背景值很低；

同一片晶圆，经过三次以上的萃取后，按道理晶圆表面水准与萃取液数值接近，但是量测片子表面PO浓度是13ppb左右，萃取液体积为1ml；尝试第四次萃取，然后溶液中加入了1ml的5ppb的标准品，结果量测出来浓度值为5.025ppb（重复做了一次是5.227ppb），如果经多次萃取后的13ppb是来源于片子，那经过添加1ml的5ppb的标准品，目标浓度应该为9ppb[（1*5+1*13）/2]

那么得出的浓度接近添加的标准品的浓度，该如何理解呢？

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小卡

第1楼2024/09/24

这种情况确实有点让人费解呢。一种可能的解释是，在多次萃取后，晶圆表面的 P 含量可能并没有完全被萃取出来，或者说存在一种难以被完全萃取的状态。而当加入标准品后，测量结果接近标准品浓度，可能是测量系统对新加入的标准品响应更敏感，或者在这个过程中发生了一些未知的化学反应或物理变化，影响了测量结果。也有可能是测量方法本身存在一定的局限性，导致结果出现偏差。可以进一步检查测量方法的准确性和可靠性，或者尝试使用其他方法来验证这个结果

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