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SEM样品室不能高真空，不能吸紧

  • Ins_7f188874
    2021/06/26
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 早上正常开机开软件，真空度达标后开V1正常，设置电压电流正常，数据归0关V1放气后换了样品，然后抽不了真空了，样品室高真空的声音也很小，样品室没有正常吸紧，会是什么原因呢，
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    +关注 私聊

  • It is me!

    第1楼2021/06/27

    真空到不了的原因可多了。不过一般都是样品仓密封或者分子泵未正常工作。

0
    +关注 私聊

  • Insm_d40d950e

    第2楼2021/07/29

    密封圈有脱落？抽真空电机不响？

0
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