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扫描电镜(SEM/EDS)
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【求助】请教:一般SEM能谱的束斑多大?
huang150429
2007/04/11
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
请教:我今天下午打算去场发射扫描电镜上看试样中的析出相(尺寸应该为几十纳米到几百个纳米),我问做SEM的老师,他和我说,利用场发射观察尺寸为几十纳米的析出物,肯定没有问题,但是能谱打不准确,因为能谱的束斑比这些析出物的大小要大!!我不明白的有以下几点:能谱的束斑一般多大?利用场发射SEM观察几十个纳米的析出物和利用TEM观察(萃取复型和薄膜试样)各有什么优缺点?今天我用场发射做的EBSD效果很好,呵呵。。。
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