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关于SEM及EDS扫描时会漂移

  • Ins_394da4e4
    2022/06/02
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问各位前辈,遇到漂移的非常严重的样品如何处理?
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  • 苗晨光

    第1楼2022/06/06

    你没固定好吧,什么样品?

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  • 第2楼2022/06/07

    除了固定因素之外,更可能估计是导电性不好造成的漂移。做能谱,一般通过喷碳来解决导电性问题。

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  • 陈元凯

    第3楼2022/06/12

    有图片吗?一般都可以和厂商咨询。
    漂移,可能有两种原因:
    1.样品导电性不良,导致样品表面荷电积压,产生电场,使入射电子和二次电子运动都收影响。间接导致探测器接受信号异常,最终成像异常。
    2.样品台自动控制系统异常,在测试的时候样品台自动,导致图片漂移。

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  • 一颗蒲公英

    第4楼2022/06/17

    漂移,找各种可能存在漂移的因素。无非是:1、样品是否固定稳定;2、样品是否荷电;3、样品是否耐电子束轰击;4、是否样品马达台问题。一般可以用空样品台和有样品的样品台进行比对,判断马达台是否正常。

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