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【实战宝典】半导体集成电路制造工艺控制,需要用到哪些分析技术?
小官人-闭关修炼中
2022/07/05
私聊
ICP-MS
问题描述:半导体集成电路制造工艺控制,需要用到哪些分析技术?
解答:
微量污染物可影响半导体芯片产品的可靠性,甚至造成产品失效。因此,在接收原材料、生产制造过程、故障检测阶段以及整个装配和包装过程中,就应对污染物含量进行检测,降低污染。
分析仪器,包括
电感耦合等离子体质谱仪
(
ICP-MS
)、
气相
质谱仪
(
GC-MS
)
,傅里叶红外光谱(
FT-IR
)
,
差式扫描量热仪(
DSC
),
离子色谱仪
(
IC
)
,
自动滴定仪等,是半导体和电子产品制造领域不可或缺的工具。
半导体集成电路制造与分析技术
前道工艺与分析技术
后道工艺与分析技术
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS
实战宝典》
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