【求助】JEOL SEM 光斑大小直径怎么得到，谢谢

通过调节电磁聚光镜中的电流得到。

顺便说一句，所有电镜的SPOT SIZE 直径调节都是这样的， 不只是您的JEOL的。

谢谢您的回答。
我知道如何调节光斑大小，但是不知到光斑具体直径到底是多少，如何计算呢？
当时安装电镜的工程师不知道，说是问一下公司，后来就一直没有回复。

直接测量可能很困难,我想应该可以通过一定的方法计算得到,可以通过测量电流密度和电流值,再计算得到.一般应该近似等于相应加速电压下的分辨率.

Probe current value (A)
1 对应的光斑直径 1x10-12 (A)
2 2x10-12
3 3x10-12
4 6x10-12
5 1x10-11
8 6x10-11
9 1x10-10
10 2x10-10
11 3x10-10
12 6x10-10
13 1x10-9

楼上的看不懂,能否解释一下呢,谢谢