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mapping是图像飘移，如何解决？

maxwellar

2023/07/15

扫描电镜（SEM/EDS）

如题、电子束对中已做，mappinf图还是飘（但是sem图其实是不飘的，同样的样品，前一天做了都不飘，喷金后还是飘），求助？

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自信且不回家

第1楼2023/07/17

用小光阑小束流低电压，软件EDS如果带漂移矫正选上。漂都是因为导电性不好或者样品没固定牢固。

0

maxwellar

第2楼2023/07/17

那要扫很久的，信号量不够
自信且不回家(m3229146) 发表:用小光阑小束流低电压，软件EDS如果带漂移矫正选上。

0

自信且不回家

第3楼2023/07/17

多喷点金。。
maxwellar(maxwellar) 发表:那要扫很久的，信号量不够

0

UNM

第4楼2023/07/18

应助达人

样品飘可能原因如下，请参考：
样品是否贴稳，如果是用的导电胶布，看换成导电胶是否有改善；
样品是否平整，如果样品表面不平整，长时间Mapping会漂移的；
是否倍数过高，放小倍数看是否可以改善；
样品导电性不好需要喷金或者镀炭来增强导电性。

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