myoldid
第2楼2023/08/18
通常气质所谓的漏气,不是用肥皂水去检查接头,是用丙酮去检查传输线,侧板,放空阀。
你图中的这个状态不好判断是来自载气还是漏气。
1. 可以做个空气水检查,如果只有氮气高,那就是来自载气,因为你换过气体过滤器,会断开气路,引入空气,而氧气和水被捕集了,剩下的氮气就高。可以拧松epc处的螺母,放气几分钟,再抽真空。
2. 空气水检查氮氧都高,就可能是ms部分漏气,因为你洗离子源开过侧板,重点检查放空阀,O圈,也看看隔垫是否到限值了。
可以参考 https://bbs.instrument.com.cn/topic/8240295,搜索漏气