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场发射扫描电镜

  • hechong257
    2011/10/03
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问场发射扫描电镜(FE-SEM)的原理是什么,比钨丝灯的优势在哪儿?
    +关注 私聊
  • 小M

    第1楼2011/10/03

    应助达人

    原理是一样的,只是发射枪不同

    亮度高,相干性好

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    +关注 私聊
  • fengyonghe

    第2楼2011/10/03

    场发射使用单晶金属钨代替钨丝做发射源,单晶金属钨的尖端曲率半径几十纳米,在第一阳极和单晶金属钨之间加有高压,电子在强电场的作用下被拉出形成发射电流。它分为热场发射和冷场发射。热场发射可以得到比钨灯丝更大的束流,有利于能谱分析,但与冷场相比牺牲了分辨率。冷场发射可以得到更细小的束斑,大大提高了分辨率,更有利于图像分析。

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