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【讨论】SiGe的TEM测试哪里可以做?怎么弄?高人指点一下

  • lily_hanchun
    2007/07/09
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子,针对SiGe合金,我们想测试一下。但是没有测过,还望各位测量高手帮帮忙!
    首先,不知道我们的SiGe片子要怎么制样?切角的选取?另外,收费的情况是什么样的?全部都是以hour计时吗?那我们一张片子要耗几个小时呢?总共花费大概是多少呢?有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料,实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢?
    看到自己上一段很多的“?”,实在是很多东西不知道,还望大家帮帮忙!
    千恩万谢!
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  • longwood

    第1楼2007/07/09

    要做截面还是平面?如果你自己不做TEM,就不要管制样了。
    GeSi还是很受欢迎的,Strain 分析,成分分析,研究了很多了。

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  • molybdenum

    第2楼2007/07/09

    制样有两种,一种是粉末样品粘在导电材料上面;另一种是制成离子减薄片。后一种在纳米研究中应该广泛。
    收费嘛,也有两种方式,有的以小时计算,我以前做的时候1小时100人民币;也有按样品数量计算的,象你一个样品,而且拍一个照片也花不了几分钟,所以估计按数量计算他们才划算。你的样品主要是制样麻烦,估计最后300人民币可以搞定吧。
    一般大学里面都有TEM,最好跟你所在地的大学联系一下。

    lily_hanchun 发表:偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子,针对SiGe合金,我们想测试一下。但是没有测过,还望各位测量高手帮帮忙!
    首先,不知道我们的SiGe片子要怎么制样?切角的选取?另外,收费的情况是什么样的?全部都是以hour计时吗?那我们一张片子要耗几个小时呢?总共花费大概是多少呢?有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料,实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢?
    看到自己上一段很多的“?”,实在是很多东西不知道,还望大家帮帮忙!
    千恩万谢!

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  • lily_hanchun

    第3楼2007/07/10

    先谢谢两位的指点!非常感谢!
    我们主要是想看看界面缺陷,应力情况。其实我们学校(成都电子科大)也有TEM,但是坏了,不能用。上次在川大测了一个XRD,我们开始还是很放心的把片子交给他们,但是,由于操作人员的技术问题,弄出来的图片都没有衬底的Si峰,所以很担心。我不知道哪里做TEM弄得比较好,主要是要保险一点。如果各位知道,还望不惜赐教!小妹拜谢不已!

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  • molybdenum

    第4楼2007/07/17

    你在成都的话,可以去成都理工,我知道那里一定有TEM的。
    XRD只能做晶体结构,想用它看缺陷可能办不到吧

    lily_hanchun 发表:先谢谢两位的指点!非常感谢!
    我们主要是想看看界面缺陷,应力情况。其实我们学校(成都电子科大)也有TEM,但是坏了,不能用。上次在川大测了一个XRD,我们开始还是很放心的把片子交给他们,但是,由于操作人员的技术问题,弄出来的图片都没有衬底的Si峰,所以很担心。我不知道哪里做TEM弄得比较好,主要是要保险一点。如果各位知道,还望不惜赐教!小妹拜谢不已!

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  • lily_hanchun

    第5楼2007/07/18

    谢谢!我们上次没有用XRD来看缺陷。只是想说明有些号称对外测试的测试让人很不满意。再次感谢,我问问看。

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