仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯

【原创】Low Power低能SEM 图像较差原因查询

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们的JSM-6700F SEM 现在的Low Power 低能0.5KV 效果较差, 我们公司在香港有一台同样型号的SEM, 它的低能效果比我们好多了, 微小的差别就是香港的JSM-6700F 配了个LN2液氮杜瓦罐, 另外香港的二级真空泵是油扩散泵,我们的是涡轮分子泵.
    为了排除我们这边工程师操作的个人因素, 我们让香港那边的工程师过来调了3个多小时也调不出理想的效果.
    附图为HK SEM 低能图片, 我们的图片与之相比显得图像质量较粗糙,可能是信/噪比过大 或者是其他原因?
    请大侠们指教一二.
    谢谢.
0
    +关注 私聊
  • semuser

    第2楼2007/07/10

    一般来讲样品在观测时会受到污染,表面会形成一层污染膜,高加速电压下看不到,但低加速电压下可以观测很浅层的图像,正好可以观测到,会显得图像模糊,冷阱可以吸附污染,减小对样品的影响,观测效果应该更好

0
0
    +关注 私聊
  • wbslandy

    第4楼2007/07/13

    我们叫JEOL工程师来看了, 开始他也象上面兄弟说的那样,说是我们没装冷阱,要我们买冷阱, 我就问他冷阱要花不少银子,万一我们真买买回来了, 他能不能确保更好的低能效果, 他说can not be sure.
    于是我就叫香港那边的同型号的做对比试验, 冷阱分别不装和装液氮, 结果做出来的效果没什么明显的差别.我把结果Send给他看,他又改口说是我们的OL/aperture被污染了,让他换aperture, 还不行, 又检查OL物镜, 说物镜上又Particle, 又用吸尘器吸, 吸不掉,接着松物镜上的螺丝,结果把物镜上一个很小的固定螺丝松过头,掉下来飞了.测物镜与外圈的绝缘电阻只有100多欧姆(应该是无穷大才对),这样折腾了四天还没搞定, 我都急死了, 他又说要把北京那边JEOL办事处的工程师叫来一起, 要把整个物镜上面的所有DD吊起来清理整个电子光学系统, 说至少要三四天. 真郁闷!

0
    +关注 私聊
  • semuser

    第5楼2007/07/14

    还是给两张对比照片吧,同样的样品,同样的参数,看看有啥差别,对你的遭遇,只能同情中

0
    +关注 私聊
  • 共工

    第6楼2007/07/16

    经典问题,顶置大家帮忙。

    semuser 发表:还是给两张对比照片吧,同样的样品,同样的参数,看看有啥差别,对你的遭遇,只能同情中

0
    +关注 私聊
  • wbslandy

    第7楼2007/07/16

    感谢semuser和RENXIN大侠的友情置顶.
    我将尽快于明天晚上把w/o LN2 Dewar的对比结果发上来.
    我们需要好的低能效果的目的主要就是看硬盘磁头表面约2~4nm厚的类金刚石DLC膜与硬盘碟碰撞有无磨损(wearing), 附图右边的ESCA测得的是左图沿绿线方向的DLC膜厚度分布, 可看出附图左边所示的发白部位DLC被磨薄了.

0
    +关注 私聊
  • wbslandy

    第8楼2007/07/16

    上面附图右边的ESCA结果Y轴的单位是Angstrom,
    我们的目标很浅,所以SEM用在检查wearing 状况只能用低能.
    根据以前的经验, 用低能时的信号很弱, 信噪ratio比较大,不知各位有什么好的方法使图像看起来更饱满.当然我也尝试过加大Emitter发射电流和样品电流, 效果确实要好一点, 但仍达不到我们香港一台SEM的低能效果. 而且我们在做其他样品时还要把两个电流调回Normal状态, 这样反复在大电流和相对小的电流之间转换很容易使光阑Aperture受污染(受污染的原因可能是大电流很容易使样品表面的C.O.H等吸附物碳化,微小的碳化物粉尘很容易飞到Aperture上).
    请大侠们给点Comments.谢谢.

0
    +关注 私聊
  • wbslandy

    第9楼2007/07/17

    附图上面一行的两个图是无液氮的效果,
    下面一行是有液氮的效果.
    看起来没有明显的差别.

0
    +关注 私聊
  • wbslandy

    第10楼2007/07/19

    大侠们都很忙, 自己给自己顶一个!

0
查看更多
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...