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【求助】样品喷镀金属于二次电子像关系

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • wariii

    第1楼2007/08/03

    謝謝你的分享
    我收下了

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    第2楼2007/08/03

    是这样的,我曾经试过!

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    第3楼2007/08/03

    俺在努力中,估计22世纪可以了

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第4楼2007/08/06

    背散射呗,以前的帖子里讲过的;验收用碳喷金样品很能说明问题。

    RENXIN 发表:另外一个事实也很难让人相信。
    事实是, 样本镀了重金属后所谓的二次电子像是亮了很多,但您所看到的已经不是二次电子了。
    是什么了呢,大家先说说

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  • zemb

    第5楼2007/08/06

    一般来说,在样品表面镀金主要是为了使不导电样品表面导电,以消除样品的充电效应。
    样品表面镀金,增加了样品表面材料的原子序数,减小了电子束与样品的作用范围,这样可以提高分辨率,也就是更容易调出清晰的图像,并不是二次电子有多大的增加。用金做分辨率标样也是这个原因,如果用铁,肯定得不到好的分辨率。
    但一般还没有在导电金属样品表面镀金的,有兴趣者不妨试试,看看效果如何。

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    第6楼2007/08/07

    再请问为什么二次电子检测器会探测到背散射电子呢,如果这个问题您不屑回答的话,请问是否有可能二次电子检测器只看二次电子,背散射电子检测器只看背散射电子呢。

    amoslau 发表:背散射呗,以前的帖子里讲过的;验收用碳喷金样品很能说明问题。

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第7楼2007/08/08

    嘿嘿,当然能了,Zeiss的二次电子探测器就可以只看二次电子啊,具体什么原理还要请大虾明示,我去找只笔记下来学习学习!高能过滤?自己瞎猜不要见笑!

    RENXIN 发表:再请问为什么二次电子检测器会探测到背散射电子呢,如果这个问题您不屑回答的话,请问是否有可能二次电子检测器只看二次电子,背散射电子检测器只看背散射电子呢。

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  • eigen

    第8楼2007/08/14

    首先说明一下,我是新手,正在学习阶段,说错的麻烦毫不客气的指出啊:)

    二次电子的产率主要只跟样品的表面形貌有关吧,所以用二次电子像来表征形貌;SEM里的各种探头中,只有二次电子探头能够主动的吸附二次电子,其他几种探头都是被动的吧;另外背散射探头的位置比较特殊,因为背散射电子本身方向是比较特殊的,而二次电子在各个方向都会有。

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    第9楼2007/08/15

    猜对了一半。
    能量过滤装置使 背散射探头只看背散射电子。
    静电透镜设计使得二次电子探头只关心真正的二次电子, 产生纯二次电子像。
    低端的二次电子探头其实是 ET探头, EVERHART 和 THOELEY 先生的发明,以讹传讹, 不知道怎么就叫成 二次电子探头了。
    不得不承认这一点FEI做得很好, ET探头叫ETD,不叫SED。

    amoslau 发表:嘿嘿,当然能了,Zeiss的二次电子探测器就可以只看二次电子啊,具体什么原理还要请大虾明示,我去找只笔记下来学习学习!高能过滤?自己瞎猜不要见笑!

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第10楼2007/08/16

    静电透镜?Zeiss不是磁透镜么?难道是静电偏转物镜?ULTRA 60也标配ET探头啊!您是说In-lens能产生比较“纯”的SEI吧?
    EVERHART和THOELEY共同改进(加上了10Kv的偏压)了“电子探测器”,后来有了背散射探头,相对BSD探头而言ET探头能够更多的采集到二次电子信号,因此大家都称之为二次电子探头。

    RENXIN 发表:猜对了一半。
    能量过滤装置使 背散射探头只看背散射电子。
    静电透镜设计使得二次电子探头只关心真正的二次电子, 产生纯二次电子像。
    低端的二次电子探头其实是 ET探头, EVERHART 和 THOELEY 先生的发明,以讹传讹, 不知道怎么就叫成 二次电子探头了。
    不得不承认这一点FEI做得很好, ET探头叫ETD,不叫SED。

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