【求助】三氯氢硅的详细分析方法

没用过，帮你喊！！！！！

化学法测量主含量可能与SiCL4分不开,建议用仪器法,用气相色谱即可.选一适合的柱子即可.
你也可以用减量法,测其中杂质.
不知道回答能不能对你有所帮助

事实上进样器可能是关键，需要气体进样阀，并对它进行保护，防止三氯氢硅的遇水分解堵塞GC系统。

共同探讨：
我现在在做它，做之前放到冰箱里冻起来
进样前先吸一定的溶剂，再吸入样品，立即进样。
柱子是含氟的柱子

[~87392~]请参考

详细方法还是自己摸索的好

三氯氢硅分析方法
这是气相分析三氯氢硅组份的方法

分析三氯氢硅用色谱法，99.9999%的高纯三氯氢硅应该用什么方法呢？还是用色谱法吗？但是如果纯度这么高，色谱出现的数据会不会就是100%呢，还请各位老师们赐教！！！

急需各位的帮助!!!!!