型号: | CL/HL |
产地: | 美国 |
品牌: | SVT Associates |
评分: |
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SVT HL 系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度,以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆。
SVT CL 系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏源。源接口可以是2.75’’法兰或更大。
SVT HT 系列蒸发源用于沉积低蒸汽压材料。源的温度可达2,000 oC。源接口可以是2.75’’法兰或更大。源在运往客户前都经过全面检测和标征。对于4.5’’或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选。
SVT也提供可用于UHV氨环境下的冷口源。此源在坩埚口带有冷却水。源接口可以是2.75’’法兰或更大。
对于4.5’’或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选。
型 号 | 法兰尺寸 | 坩埚容量(CC) |
SVTA-SF-16-275 | 2.75’’ | 16 |
SVTA-SF-16-450 | 4.5’’ | 16 |
SVTA-SF-20-275 | 2.75’’ | 20 |
SVTA-SF-20-450 | 4.5’’ | 20 |
SVTA-SF-22-275 | 2.75’’ | 22 |
SVTA-SF-22-450 | 4.5’’ | 22 |
SVTA-SF-40-275 | 2.75’’ | 40 |
SVTA-SF-40-450 | 4.5’’ | 40 |
SVTA-SF-60-450 | 4.5’’ | 60 |
SVTA-SF-80-450 | 4.5’’ | 80 |
温度范围 | 0 oC-1,400 oC |
功率 | 600W或1KW |
温度稳定性 | +/-0.1oC |
温度重复性 | +/-0.1oC |
热偶 | C型(D型可选) |
坩埚容量 | *16cc,20cc,22cc,40cc, 50cc,60cc,85cc, (16cc,22cc锥形壁坩埚均一性更高) |
标准长度 | *12’’(762.5px) |
法兰接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
电接插件 | 灯丝:Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
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