型号: | SVTA-SF |
产地: | 美国 |
品牌: | SVT Associates |
评分: |
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SVTA源法兰拥有各种尺寸。
包括从10’’法兰(配置4个2.75’’蒸发源端口)到22’’法兰(配置8个4.625’’蒸发源端口)。
每个源法兰都带有液氮或水冷却板。
源法兰的中心还设计有观察窗,便于以后配置高温测量仪。
集成挡板可选。
多种尺寸满足客户需求
管道在真空室外部
高温测量仪及集成挡板可选
当您需要订制源法兰时,以下信息是我们需要的:
1. 源法兰的最大直径
2. 蒸发源个数及接口尺寸
3. 源到衬底的距离
4. 挡板和观察窗的要求
5. 水冷却要求(液氮或水)
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