美国SVT 集中传送室/RDC/Cluster Tool
美国SVT 集中传送室/RDC/Cluster Tool

美国SVT 集中传送室/RDC/Cluster Tool

参考价：面议
型号： SVTA-CLM-6, SVTA-CLM-4
产地： 美国
品牌： SVT Associates
评分：
美国SVTA公司中国办事处
银牌会员 丨 18年
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集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制。

 

SVTA-CLM-6

  • 最大8''样品

  • 含6个12'' CF法兰端口

  • 6'' CF观察窗

  • 2.75'' CF法兰离子规端口

 

SVTA-CLM-4

  • 最大5''样品

  • 含4个8''CF法兰端口

  • 4.5''CF观察窗

  • 2.75''CF法兰离子规端口


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