美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源

美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源

参考价:面议
型号: SVTA-APH3-GCS
产地: 美国
品牌: SVT Associates
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美国SVTA公司中国办事处
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产品详情

        



        SVT公司的气体入射源是为气体源分子束外延(GSMBE)设计的。


        SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氢和磷化氢以进行高质量的III-V材料生长。


    源采用单灯丝加热,双气体管炉提高气体裂解的效率。


    它还采用一系列光阑板(aperture plates)满足客户对裂解性能的要求。


    热裂解区由高纯PBN材料和钽材料制作的。其在最高温度下也可提供超高纯环境。


    完整的气体入射源系统还包括具有较大压力的气体传输系统。


    为提高束流分布均一性,可定制源长度。


典型应用

 用于III-V材料系统

 具有很高的气体裂解能力

 先进的气体操作系统

 温度150 oC-1,300 oC

  MFC/自动束流控制

 



    

 


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