SVT Associates美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源SVTA-APH3-GCS

美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源

报价：面议

型号：

SVTA-APH3-GCS

产地：

美国

品牌：

SVT Associates

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产品详情

简介

SVT公司的SVTA-APH3-GCS气体入射源专为GSMBE设计，用于裂解砷化氢和磷化氢以实现高质量III-V材料生长。采用单灯丝加热和双气体管炉设计，并使用高纯PBN和钽材料确保高温下的超高纯环境。该系统包括气体传输系统，并可定制源长度以提高束流分布均一性，适用于温度范围150 oC至1,300 oC的III-V材料生长。

SVT公司的气体入射源是为气体源分子束外延（GSMBE）设计的。

SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氢和磷化氢以进行高质量的III-V材料生长。

源采用单灯丝加热，双气体管炉提高气体裂解的效率。

它还采用一系列光阑板(aperture plates)满足客户对裂解性能的要求。

热裂解区由高纯PBN材料和钽材料制作的。其在最高温度下也可提供超高纯环境。

完整的气体入射源系统还包括具有较大压力的气体传输系统。

为提高束流分布均一性，可定制源长度。

典型应用

用于III-V材料系统

具有很高的气体裂解能力

先进的气体操作系统

温度150^oC-1,300^oC

MFC/自动束流控制

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