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美国SVT臭氧源系统/臭氧系统

报价：面议

型号：

SVTA-O3

产地：

美国

品牌：

SVT Associates

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产品详情

简介

SVTA-O3 Ozone气体传输系统专为MBE等真空沉积设备设计，提供高纯度臭氧作为强氧化剂。系统由臭氧发生器、气体处理传输系统和臭氧入射部分组成，采用两阶段传输过程，并具备全封闭气柜和精确流量调节功能，确保高效、安全地传输臭氧至腔室。配备触摸屏控制单元及远程操作功能，易于操作且占地面积小。

SVTA-O3 Ozone气体传输系统提供超纯臭氧作为MBE或其他真空沉积设备的强氧化剂。它由三个部分组成：臭氧发生器、气体处理传输系统、以及臭氧入射部分。

臭氧传输包括2个步骤：

1. 臭氧生成模式下，双原子氧分子进入臭氧发生器，生成的臭氧存储在温度可调的阱中。所有残余的双原子氧分子经过蒸馏后作为尾气被排走。

2. 在生长模式下，电脑通过控制加热程序，给阱里的臭氧加热，并将阱中的臭氧全部输送到臭氧入射源（此入射源带有水冷却）。然后将臭氧送到腔室内。所有接触到臭氧的部件都能够防止臭氧腐蚀，更高效地利用臭氧。

该系统可与任何MBE相连，集成的触摸屏控制单元使操作更简单方便，占地面积更小。

● 全封闭气柜，配有气体安全监控器

● 流量精确调节

● 入射源配有很短的气体管路，便于快速运行或充气

● RoboMBE^TM 计算机控制远程操作