型号: | SVTA-O3 |
产地: | 美国 |
品牌: | SVT Associates |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
SVTA-O3 Ozone气体传输系统提供超纯臭氧作为MBE或其他真空沉积设备的强氧化剂。它由三个部分组成:臭氧发生器、气体处理传输系统、以及臭氧入射部分。
臭氧传输包括2个步骤:
1. 臭氧生成模式下,双原子氧分子进入臭氧发生器,生成的臭氧存储在温度可调的阱中。所有残余的双原子氧分子经过蒸馏后作为尾气被排走。
2. 在生长模式下,电脑通过控制加热程序,给阱里的臭氧加热,并将阱中的臭氧全部输送到臭氧入射源(此入射源带有水冷却)。然后将臭氧送到腔室内。所有接触到臭氧的部件都能够防止臭氧腐蚀,更高效地利用臭氧。
该系统可与任何MBE相连,集成的触摸屏控制单元使操作更简单方便,占地面积更小。
● 全封闭气柜,配有气体安全监控器
● 流量精确调节
● 入射源配有很短的气体管路,便于快速运行或充气
● RoboMBETM 计算机控制远程操作
相关产品
美国SVT 在线阴极荧光光谱仪/In-Situ CL
美国SVT 大容量阀控源
美国SVT 线性蒸发源/线性束流源
美国SVT 生产型热源/生产型束流源/生产型蒸发源
电子/半导体SSA Pro 100/150-25, 250/200-10
美国SVT激光分子束外延设备/LMBE/Laser MBE
美国SVT MBE源法兰/分子束外延源法兰
美国SVT MBE有机材料生长源/有机源/高蒸汽压源
美国SVT MBE样品台/样品加热台/Manipulator
美国SVT 集中传送室/RDC/Cluster Tool
美国SVT 束流规/束流计
美国SVT CBr4源/CBr4气体入射源
美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源
美国SVT臭氧源系统/臭氧系统
美国SVT 原子氢源/氢原子源
关注
拨打电话
留言咨询