SVT Associates美国SVT 线性蒸发源/线性束流源SVTA-LES-300

美国SVT 线性蒸发源/线性束流源

参考价：面议

型号：

SVTA-LES-300

产地：

美国

品牌：

SVT Associates

评分：

产品详情

SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和roll to roll制程工艺。

线源和体蒸发源相比，蒸发温度更高（>1,500^oC）。

线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖。

独创的分流口设计避免了材料飞溅和缺陷生长。

此源还可以通过调节光阑来调出最佳束流。

特点

分流口式生长提高大面积移动衬底的薄膜均一性

独立的加热区域，便于精确控制

差分喷口可更换，便于调整束流形状

源容量大，适于长期生长

加热温度高，因此沉积速率高

型号	沉积宽度	容量	法兰尺寸
SVTA-LES-300	300mm	500cc	6’’(DN100)CF法兰，其他尺寸可选
SVTA-LES-600	600mm	1,000cc, 2,000cc, 或5,000cc	10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选
SVTA-LES-1200	1,200mm	2,000cc, 或5,000cc	10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选

最大体蒸发温度	1,500^oC
分流口最大温度	1,600^oC
源温度稳定性	+/- 0.1^oC
束流稳定性	<1%
最大操作环境压强	5X10^-5Torr
沉积均一性	+/-4%(源与衬底距离300mm)
热偶类型	C型 (K型可选)
冷却时间	100^oC<120分钟
电接插件	灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型
烘烤温度	200^oC
冷却水接头	2 X ¹/₄’’ VCR (一进一出)
最大水压	80psi
水流速率	500ml/min

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