美国SVT 原子氢源/氢原子源
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美国SVT 原子氢源/氢原子源

参考价:面议
型号: SVT-AH
产地: 美国
品牌: SVT Associates
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美国SVTA公司中国办事处
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    原子氢源采用电子束加热原理,产生的温度可高达2,500oC。氢气进入原子氢源,然后被裂解成原子H。由于其不会产生离子形态的氢,所以消除了损伤衬底表面的可能性,因此是用于衬底表面清洁的最佳工具。

 

    紧凑SVTA-H1-1的接口是2.75’’70mmCF法兰。另外还可以配转换法兰,使其适用于任何MBE设备。建议电源使用SVTA-H1-PS。此电源系统包括3个独立电源:高压电源用于提供偏压;高电流电源用于灯丝加热;控制器连接其他电源,用于控制输出发射电流,此外,此电源还可以为测量和显示束流供电。


电源

300W

发射电流

100mA

温度

2,873K

灯丝电流

15A

管材料

W, Mo

电接插件 

       灯丝:Amphenol环形灯丝

                 高压:SHV

法兰

2.75’’(70mm)

                 4.50’’(114mm)CF

真空室内长度 

12’’ (或客户定制) 

可选

水冷却罩 


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