型号: | SSA Pro 100/150-25, 250/200-10 |
产地: | 美国 |
品牌: | SVT Associates |
评分: |
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SSA Pro 100/150-25
此阀控源用于全面板OLED制造
特点
均一性(距离 150mm,+/-1.5% 100mm2)
坩埚容量 25-100cc
束流稳定性高+/-1.0 %
束流控制快(250ms)
挡板动作快(<0.5S)
>10A/S 束流速率(距离150mm,NPB@315 oC)
SSA Pro 250/200-10
此阀控源用于全面板OLED制造
特点
均一性(距离 200mm,+/-3% 250mm2)
坩埚容量 10-100cc
束流稳定性高+/-1.0 %
束流控制快(250ms)
挡板动作快(<0.5S)
>10A/S 束流速率(距离150mm,Alq3@340 oC,NPB@315 oC)
衬底温度低(<40 oC)
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