Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜

Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜

参考价：面议
型号： NX-Hybrid WLI
产地： 韩国
品牌： Park 原子力
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核心参数
上海艾尧科学仪器有限公司
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Park NX-Hybrid WLI

AFM 和 WLI 技术集成系统


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用于 200mm至 300mm 晶圆的全自动工业化 AFM-WLI 系统是业内最快捷、最准确、最通用的半导体计量工具。


Park NX-Hybrid WLI 是迄今为止首个内置白光干涉仪轮廓测量的 AFM 系统，可用于半导体元件的研发计量、过程控制和制造质量保证。


Park NX-Hybrid WLI 使用 WLI 模块在相当大的区域提供高吞吐量成像，并使用 AFM 在感兴趣的区域提供亚埃高度分辨率的纳米尺度计量。


Park NX-Hybrid WLI 提供了从大面积扫描到纳米级计量的终极解决方案，适用于各种应用，包括质量保证、自动缺陷检测、前端半导体工艺控制和后端先进封装。


Park NX-Hybrid WLI 无缝集成了自动化工业 AFM 系统和 WLI 轮廓仪。与前两种单独的工具解决方案相比，它能有效地节约成本、减少设备占用空间并能提供全新的最佳计量解决方案。


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Park NX-Hybrid WLI可测量亚埃级精度的台阶高度


WLI 和 AFM

半导体计量的两种最佳互补技术


WLI

白光干涉测量是一种光学技术，具有成像区域广、速度快、吞吐量高的优点。


AFM

原子力显微镜是一种扫描探针技术，对所有样品材料（包括透明材料）都能提供最精确的纳米级分辨率测量。


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上海艾尧科学仪器有限公司为您提供Park 原子力Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜，Park 原子力NX-Hybrid WLI产地为韩国，属于进口晶圆缺陷光学检测设备，除了Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供Park纳米红外光谱／光诱导力显微镜、Park NX10原子力显微镜、Park NX-Hivac高真空原子力显微镜,艾尧仪器客服电话400-860-5168转4306，售前、售后均可联系。

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