玻璃基板TGV通孔检测系统
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| 型号： | GAVI |
| 品牌： | PIE |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 韩国 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
| 评分： |
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| 更新时间： | 2026/09/29 |
- 检测速度： <2s
- 最小线宽/线距： 161nm
PIEAOI光学自动检测设备
PIEGAVI
进口AOI光学自动检测设备
玻璃基板TGV通孔检测系统
n 产品简介
韩国PIE公司是一家专注于玻璃基板TGV质量无损检测的上市公司，产品包括TGV面板光学 AOI、全息断层扫描系统、X 射线 CT、超声 SAM 四大检测设备，能够检测玻璃基板TGV关键尺寸、TGV 3D形貌、TGV内壁粗糙度、TGV微裂纹、盲孔、铜填充残留空洞、Wafer层间分层缺陷等参数。
n 主要功能
1）光学AOI：用于测量TGV关键尺寸及微裂纹、包括孔径，位置、圆度、Cpk、锥角、孔顶/孔腰尺寸比，微裂纹尺寸等。
2）全息断层扫描系统：用于测量TGV的3D形貌，可以获取微裂纹尺寸，数量，激光改性质量，是否改性成功，TGV内壁粗糙度、Cu CMP后的表面粗糙度及dishing height 高度等数据。
3) X射线CT系统：用于无损检测TGV填铜后质量，是否有空洞等缺陷及缺陷尺寸量测。
4）扫描超声SAM：用于检测RDL增层质量，是否有层间分层、微裂纹、空洞等缺陷及缺陷尺寸。
n 产品特色及关键参数
1）光学AOI：
一次扫描即可同时采集 TGV 孔顶部、腰部、底部关键尺寸数据，无需翻转基板，百万TGV仅需 300 秒完成全检；
AI 高精度检测算法：TGV缺陷识别准确率达 99.99%；
关键参数测量：自动输出孔径、孔圆度、锥角、TGV阵列间距、同步识别崩边、划痕、脏污、异物、微裂纹等缺陷；
样品尺寸：510*515mm及以下尺寸；
分辨率：1μm；
产量：12 UPH @ 1,000,000 TGV/Glass
2）全息断层扫描Holotomography：
全球首款 161nm 超高分辨率检测方案，精准测量TGV关键尺寸，检测玻璃基板内纳米级微裂纹、TGV孔壁粗糙等；
全自动3D检测：扫描、三维重建、缺陷分类、报告生成一体化；
AI 辅助缺陷识别：自动区分裂纹、崩边、盲孔、异物等缺陷并分类；
灵活适配各尺寸玻璃基板：原生大板、切割后小型面板均可兼容检测；
样品尺寸：510*515mm及以下尺寸；
3）X光CT：
样品尺寸：510*515mm及以下尺寸；
最小焦点：0.5 μm；
产量：2 UPH
4）扫描超声SAM：
样品尺寸：510*515mm及以下尺寸；
频率/分辨率：200MHz/ 7.5μm
产量：7 UPH
n 测量实例
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
PIE玻璃基板TGV通孔检测系统GAVI由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为韩国，属于进口AOI光学自动检测设备，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于半导体等领域，PIE玻璃基板TGV通孔检测系统GAVI凭借其创新性与实用性，在AOI光学自动检测设备用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：PIE玻璃基板TGV通孔检测系统GAVI的检测速度为<2s，最小线宽/线距为161nm，PIE玻璃基板TGV通孔检测系统GAVI的价格为面议，具体型号是GAVI，品牌为PIE。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
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Onto晶圆AOI光学检测机台
|
艾尧仪器 |
Dragonfly® G3 |
进口 |
面议 |
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玻璃基板TGV通孔检测系统
|
PIE |
GAVI |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C686280.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
联系方式
艾尧仪器官方客服电话
400-616-7676转1611
仪器信息网认证
适用范围：
产品报价、选型咨询、资料获取、售后联系
主营产品：
原子力显微镜 、 纳米压痕仪 、 晶圆缺陷光学检测设备 、 薄膜应力测试仪 、 光学薄膜测量
信息来源：
艾尧仪器官方展位（仪器信息网已认证）
公司地址：
浦东新区建韵路500号
信息校验时间：
2026-09-01
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