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晶圆全自动显微拉曼量测机台
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| 型号： | UniDRON |
| 品牌： | 艾尧仪器 |
| 产地类别： | 国产 |
| 产地： | 台湾 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
艾尧仪器其他晶圆缺陷设备
艾尧仪器UniDRON
国产其他晶圆缺陷设备
共聚焦显微拉曼光谱晶圆全自动在线量测机台
专为晶圆材料打造的高精度无损分析利器
UniDron是一款专门针对晶圆制程所设计的全自动共聚焦显微拉曼光谱量测系统，具备创新非破坏性分析能力，可用于检测晶圆中的残留应力、晶格缺陷、掺杂浓度、材料结构与成分变化，并广泛应用于半导体制程各阶段如晶锭切片、晶圆切割、研磨、CMP、外延、薄膜沉积、蚀刻、离子注入与退火等工序。
全新一代晶圆检测方案：
创新 UV–NIR 全波段自动对焦 × 拉曼光谱 × 实时无损技术
UniDRON是业界首创结合共聚焦显微拉曼技术与全自动在线检测平台的旗舰设备，专为先进半导体制程质量控制而设计。可于晶圆不同深度进行非破坏性定量分析，实现从材料端到制程端的实时回馈与自动判定。
产品亮点：
全波段对焦 × 实时量测 × 自动判定 × 无需前处理
全波段对焦技术：UV~NIR（266~1064nm）支持，跨波段精准成像
非破坏性实时检测：无需切片、抛光，即可在线量测应力与掺杂
算法驱动：专属公式模型直接输出应力/掺杂浓度数值
自动判定：内建判断逻辑、支持高通量批次检测
模块化整合：与 FOUP、FOSB、晶圆机械手臂无缝对接
可检测项目与应用：
检测内容 | 功能说明 |
晶圆深度应力分布 | 多层压缩/拉伸应力分析，位移成像呈现 |
晶体晶格种类识别 | 鉴别4H/6H/15R单晶堆栈结构 |
晶格缺陷/层错密度分析 | 堆栈层错、E1/E2强度比分析、FWHM图像化 |
晶圆掺杂浓度定量 | 镁/铝等离子注入层浓度，自动演算E₂位移图像 |
多层异质结构分析 | 如硅锗合金、应力层、多层膜厚分离辨识 |
主要技术规格一览：
项目 | 技术规格 |
支持晶圆尺寸 | 6” / 8” / 12” (150 / 200 / 300 mm) |
扫描点数 / 时间 | 900 点 ≒ 15 分钟 (8寸晶圆) |
对焦分辨率 | XY ≦ ±1µm、Z ≦ ±10nm |
光谱分辨率 | 0.1–1.0 cm⁻¹ / pixel |
激光波段 | UV: 266–405nm, VIS: 457–633nm, NIR: 785–1064nm |
探测器 | 高灵敏CCD / NIR InGaAs（双通道可扩充） |
软件平台 | UniSCAN × Wafer Map × Spectra Analytics |
洁净等级 | Class 1 适用无尘室环境 |
设备体积/重量 | 3150 × 1940 × 2400 mm / 约4.2吨 |
应用场景：
适用于半导体制造全流程：
♦ 晶圆切割 / 晶圆切片
♦ 研磨 / 化学机械抛光（CMP）
♦ 外延生长 / 薄膜沉积
♦ 离子注入 / 热处理退火
♦ 材料分析 / 质量管理 / 制程优化
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
艾尧仪器晶圆全自动显微拉曼量测机台UniDRON由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为台湾，属于国产其他晶圆缺陷设备，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于半导体等领域，艾尧仪器晶圆全自动显微拉曼量测机台UniDRON凭借其创新性与实用性，在其他晶圆缺陷设备用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：艾尧仪器晶圆全自动显微拉曼量测机台UniDRON的价格为面议，具体型号是UniDRON，品牌为艾尧仪器。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C686280.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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