半导体残余气体质谱仪

半导体残余气体质谱仪

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报价:面议
型号: RGA 6500
品牌: 安益谱/Anyeep
产地类别: 国产
产地: 江苏
厂商性质: 一般经销商
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更新时间: 2026/09/29
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安益谱过程质谱

安益谱RGA 6500

国产过程质谱

产品详情
简介
RGA6500半导体在线气体质谱仪采用全金属不锈钢腔体,最高加热至200℃,配备无油隔膜泵与高性能涡轮分子泵,提供稳定真空环境。支持气体样品通过加热不锈钢管或石英毛细管进样,利用电子轰击离子源电离,四极杆质量筛选,电子倍增器信号放大,实现高灵敏度、高稳定性的气体成分分析,适用于多种复杂气体检测场景。

半导体在线残余气体分析仪(气体质谱仪)

在半导体制备过程中,各种工艺涉及的气体种类繁多。其中气体主要包括两大类:一类是参与化学反应的过程气体,如硅烷、磷烷、砷烷、氨气、氯气、三氟化氮等;另一类是用于创造或维持特定环境的惰性气体与载气,如高纯氮气、氩气、氦气等。

这些气体的纯度要求极高,杂质含量通常需要控制在十亿分之一(ppb)甚至万亿分之一的级别。他们就像血液一样,保证了整个产线的质量与成品率。对这些气体的纯度、成分浓度以及工艺尾气中的有害物质进行实时、精确的监测与分析,则是残余气体分析仪的核心任务。

残余气体分析仪(下文简称 RGA, Residual Gas Analyzer)。在半导体工艺中,它经常被用来检测真空系统中的残余气体,覆盖半导体制造过程的多种检测需求。其核心在于质谱分析技术,通过电离气体分子并测量其质量-电荷比,从而精确识别并测量样品中的不同气体成分。


RGA 在半导体制造中的应用场景 

气体分析技术在半导体制造中的应用主要体现在以下几个方面:

1、超高纯度电子特气在线分析

2、工艺腔室洁净度验证

3、尾气排放的安全监测

4、管道系统的完整性检漏

5、设备与材料的气体分析


RGA6500型半导体在线气体分析质谱仪,采用全金属不锈钢材质作为质谱腔体,腔体最高温度可达200℃,配备无油隔膜泵与高性能涡轮分子泵提供真空环境,配备全量程真空规支持实时掌握仪器真空状态。

样品可通过外置最高350度加热套的不锈钢管或石英毛细管实现进样,气体样品通过开放式电子轰击离子源进行电离,全金属双曲面四极杆质量筛选,最后在电子倍增器处实现信号放大输出。


售后服务
  • 保修期: 1年
  • 是否可延长保修期: 是
  • 现场技术咨询: 有
  • 免费培训: 有
  • 免费仪器保养: 6月1次
  • 保内维修承诺: 免费维修更换零件
  • 报修承诺: 48小时内响应
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产品小贴士

安益谱半导体残余气体质谱仪RGA 6500由上海艾尧科学仪器有限公司提供,产地为江苏,属于国产过程质谱,符合多项国家和国际分析标准, 广泛应用于石油化工、电子/电气、半导体、能源等领域,安益谱半导体残余气体质谱仪RGA 6500凭借其创新性与实用性,在过程质谱用户中获得广泛关注。

根据艾尧仪器官方产品资料显示:安益谱半导体残余气体质谱仪RGA 6500的价格为面议,具体型号是RGA 6500,品牌为安益谱。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:

产品名称
品牌
型号
产地类型
价格

客户服务热线:400-616-7676,1611(售前/售后支持)

官方链接:https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C375061.html

来源:上海艾尧科学仪器有限公司

Business information
工商信息 信息已认证
  • 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
  • 企业类型: 有限责任公司
  • 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
  • 成立日期: 2018年07月06日
  • 注册资本: 100万元
  • 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...

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艾尧仪器官方展位(仪器信息网已认证)

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浦东新区建韵路500号

信息校验时间:

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