已认证
Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜
关注
| 型号： | NX-Mask |
| 品牌： | Park 原子力/Park SYSTEMS |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 韩国 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
| 评分： |
|
| 更新时间： | 2026/06/30 |
Park 原子力掩模修补系统
Park 原子力NX-Mask
进口掩模修补系统
Park NX-Mask
基于AFM的 EUV 掩膜修复及其他性能
Park NX-Mask是一款用于修复高端EUV掩膜的创新型机台。Park NX-Mask 采用最新的原子力显微镜技术，配有新一代的光罩修复系统，用于解决随着器件尺寸缩小和光掩膜复杂性增加带来的新式挑战。从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案为您提供了前所未有的修复效率，让您的研究工作事半功倍。
- 无任何类型的缺陷损坏和修复风险
- 兼容双EUV光罩盒
- 用于定位缺陷和修复后验证的多效合一型解决方案
使用AFM探针安全可靠地修复缺陷
来自 EUV 光源的锡 (Sn) 颗粒等碎片可能会落到光罩上并降低其光反射率，导致设备不能进行精确地压印。Park NX-Mask 利用其成熟的纳米机械 AFM 技术，以绝对安全可靠的方式发现并去除外来颗粒、修正复杂的图案缺陷。与传统的光罩修复系统相比，Park NX-Mask能在不造成任何损坏或扰乱光罩表面的情况下精准执行修复。
安全性能
- 无光束静电
- 无化学使用
- 无真空要求
卓越性能
- 纳米级分辨率和修复精度
- 在同一系统可实现检测扫描，到修复，到验证的功能
- 经济型高品质低成本
用于自动和无缝修复的在线生产
Park NX-Mask提供最优的解决方案，支持在线生产的双EUV Dual pod。
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为韩国，属于进口掩模修补系统，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体等领域，Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜凭借其创新性与实用性，在掩模修补系统用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜的价格为面议，具体型号是NX-Mask，品牌为Park 原子力。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495311.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
关注
拨打电话
留言咨询
