德国Osiris单片晶圆清洗机

德国Osiris单片晶圆清洗机

参考价:面议
型号: CHEMIXX 30
产地: 德国
品牌: Osiris
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产品详情

产品简介

CHEMIXX 30pm湿法台是一款半自动单面湿法系统,主要用于晶圆或者方片的清洗,刻蚀,显影等应用,其中清洗部分具有化学清洗,兆声清洗,PVA刷洗,高压DI水冲洗,背部清洗等多种功能。

 

产品特色 

  圆形晶圆最大可达:300mm

  方形衬底最大可达 9 x 9 inch

  最多两个电动输送臂,每个最多 6 个管路

  液体加热模块高达 60°C

  用于去离子水的背面冲洗

  集成三种不同化学品液供应系统

  工艺室外的手动去离子水枪

   工艺室自动去离子水冲洗可选

  带有流孔的工艺室档板

 

技术数据

  衬底尺寸最大可达:300mm (12 inch)  230 x 230 mm (9 x 9 inch)

  电机转速最大 3.000 rpm步进rpm

  步进时间: 1  999.9 秒,步长 0.1 s

  系统架构由粉末涂层不锈钢制成

  处理室材料 PP (可选 PVDF)

 

   

上海艾尧科学仪器有限公司为您提供德国Osiris单片晶圆清洗机CHEMIXX 30,OsirisCHEMIXX 30产地为德国,属于进口湿法清洗设备,除了德国Osiris单片晶圆清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供德国Osiris晶圆HMDS烘箱,艾尧仪器客服电话400-860-5168转4306,售前、售后均可联系。

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