型号: | CHEMIXX 30 |
产地: | 德国 |
品牌: | Osiris |
评分: |
|
产品简介
CHEMIXX 30pm湿法台是一款半自动单面湿法系统,主要用于晶圆或者方片的清洗,刻蚀,显影等应用,其中清洗部分具有化学清洗,兆声清洗,PVA刷洗,高压DI水冲洗,背部清洗等多种功能。
产品特色
圆形晶圆最大可达:300mm
方形衬底最大可达 9 x 9 inch
最多两个电动输送臂,每个最多 6 个管路
液体加热模块高达 60°C
用于去离子水的背面冲洗
集成三种不同化学品液供应系统
工艺室外的手动去离子水枪
工艺室自动去离子水冲洗可选
带有流孔的工艺室档板
技术数据
衬底尺寸: 最大可达:300mm (12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)
电机转速: 最大 3.000 rpm, 步进1 rpm
步进时间: 1 至 999.9 秒,步长 0.1 s
系统架构: 由粉末涂层不锈钢制成
处理室材料: PP (可选 PVDF)
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询