瑞士LynceeTec MEMS振动分析仪

瑞士Lyncee Tec全息MEMS振动分析仪

数字全息技术是一种基于干涉原理的无接触、无需扫描、直接全视场成像技术，可在单次拍摄中同步记录被测对象的振幅和相位信息。近年来，随着图像传感器与处理算法的发展，数字全息技术已经实现了高分辨率、实时化，并逐步发展为能够获取三维空间+时间演化信息的4D成像系统。该技术在非破坏性测试、微结构测量等领域展现出显著优势。

在微机电系统（MEMS）振动测试中，传统测量手段如激光多普勒测振仪、干涉显微镜等存在点测量、扫描慢或需要标记等局限。数字全息4D成像技术则能在无需接触的条件下，以高帧率记录MEMS器件的全场振动响应，获取亚纳米级的位移分布，并实时还原其动态行为。

结合数字全息技术与傅里叶变换分析，可实现频率域内对MEMS共振模式的识别与可视化；通过高帧率相位解调算法，可以捕捉MHz级别的微结构谐振。

4D全息MEMS测振分析仪记录MEMS振动周期中的三维形貌时序图，为MEMS振动测量提供了丰富的数据，特别是可以在被测视场内任意一点测量面内和面外振幅（位移）及频率响应，这些独特优势与完善的配套软、硬件一起提供了一套完整的MEMS振动测量解决方案。

非扫描式测量，超高速测量，大大缩短表征时间

使您能够有效比较模拟仿真与实际器件测量结果

独有的全息技术助您获得其他测量技术无法实现的数据

Lyncée Tec的全息MEMS测振仪拥有包括软、硬件在内的一整套完整的解决方案：

可加热样品探针台

可温控真空腔

MEMS信号激励，可达 25 MHz

记录器件电学响应

DHM® 记录三维形貌时序图

频闪模块同步测量信号

MEMS专用分析软件MEMSAnalysis Tool 能够实现高效的三维时序图分析：

离面运动测量幅值从 5 pm 至 50 microns

面内运动测量幅值从 1 nm (子像素算法) 至 5 mm

伯德和傅里叶频域分析

多器件振动测绘、模态图