| 型号： | 全自动6英寸快速退火炉 |
| 产地： | 上海 |
| 品牌： | 量伙 |
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我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员，可依据客户需求，完成定制化设备的研发生产。
客户在我司定制的第三代半导体材料氮化镓、碳化硅可用的新型快速退火炉，已在上海为客户装机调试完毕，如有需求，欢迎广大客户来电咨询定制氮化镓氮化硅快速退火炉的报价、型号、参数等。
设备规格:
6英寸快速退火炉；
适应于 2英寸-6英寸 晶圆或者支持 150mmx150mm 样品；
退火温度范围 300℃-1400℃；
升温速率 ≦150℃/sec(裸片)；
温度均匀性 ≦±1%；
常压腔体（可选配真空腔体）；
冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
MFC控制，1-4路制程气体。
应用领域:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
金属合金；
热氧化处理；
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；
多晶硅退火；
太阳能电池片退火；
高温退火；
高温扩散。
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