量伙桌上型4英寸快速退火炉LH-RTA-C_价格-量伙半导体设备（上海）有限公司

核心参数

产品详情

设备规格：

1.手动操作模式；

2. 适应于 2英寸-4英寸晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；

3.退火温度范围 300℃-1000℃；

4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；

5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；

6.常压腔体（可选配真空腔体）；

7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；

8.MFC控制，1-4路制程气体。

量伙半导体设备（上海）有限公司为您提供量伙桌上型4英寸快速退火炉LH-RTA-C，量伙LH-RTA-C产地为上海，属于国产退火炉，除了桌上型4英寸快速退火炉的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,量伙半导体客服电话，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 量伙半导体设备（上海）有限公司
企业类型:
信用代码: 91310116MAJ8N934E
成立日期: 2018年12月10日
注册资本: 500
经营范围: 半导体设备的研发、销售，半导体设备科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机电产品、光电产品的销售，从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

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