型号: | LH-RTA-D |
产地: | 上海 |
品牌: | 量伙 |
评分: |
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设备规格:
1.半自动操作模式,自动开关腔门;
2. 适应于 2英寸-8英寸 晶圆,或者(200mmx200mm)样品;
3.退火温度范围 300℃-850℃(可选高温型,最高温度1350 ℃ );
4.升温速率 ≦150℃/sec(裸片);
5.温度均匀性 ≦±0.5%(>500 ℃);
6.真空腔体(可选配常压腔体或正压腔体);
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫;
8.MFC控制,2-4路制程气体。
工艺应用:
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
离子注入/接触退火;
高温退火;
高温扩散;
金属合金;
热氧化处理。
应用领域:
化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太阳能电池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圆;
LED晶圆。
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