| 型号： | LH-RTA-A |
| 产地： | 上海 |
| 品牌： | 量伙 |
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设备规格：
1.半自动操作模式，自动开关腔门、条码识别；
2. 适应于 2英寸-12英寸 晶圆，支持 4寸9片晶圆或者 单片(300mmx300mm)样品，可定制双腔体模式，单次可处理18片4寸晶片；
3.退火温度范围 300℃-850℃；
4.升温速率 ≦150℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±0.5%(>500 ℃)；
6.真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，3-5路制程气体。
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