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美国SVT公司 MBE 束流源/蒸发源

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品牌

SVT Associates

型号

CL/HL

产地

美洲美国

应用领域

暂无


       


        SVT HL 系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度,以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆。


        SVT CL 系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏源。源接口可以是2.75’’法兰或更大。


    

       SVT HT 系列蒸发源用于沉积低蒸汽压材料。源的温度可达2,000 oC。源接口可以是2.75’’法兰或更大。源在运往客户前都经过全面检测和标征。对于4.5’’或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选。


        SVT也提供可用于UHV氨环境下的冷口源。此源在坩埚口带有冷却水。源接口可以是2.75’’法兰或更大。

    对于4.5’’或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选。



型 号

法兰尺寸

坩埚容量(CC)

SVTA-SF-16-275

2.75’’

16

SVTA-SF-16-450

4.5’’

16

SVTA-SF-20-275

2.75’’

20

SVTA-SF-20-450

4.5’’

20

SVTA-SF-22-275

2.75’’

22

SVTA-SF-22-450

4.5’’

22

SVTA-SF-40-275

2.75’’

40

SVTA-SF-40-450

4.5’’

40

SVTA-SF-60-450

4.5’’

60

SVTA-SF-80-450

4.5’’

80




温度范围 

0 oC-1,400 oC 

功率 

600W或1KW

温度稳定性

+/-0.1oC 

温度重复性

+/-0.1oC

热偶 

  C型(D型可选)  

坩埚容量

*16cc,20cc,22cc,40cc,

50cc,60cc,85cc,

(16cc,22cc锥形壁坩埚均一性更高)

标准长度  

  *12’’(762.5px)

法兰接口

          2.75’’或4.5’’OD-CF

电接插件  

灯丝:Amphenol环形灯丝

          T/C:Omega亚微型


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