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美国SVT臭氧源系统/臭氧系统

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品牌

SVT Associates

型号

SVTA-O3

产地

美洲美国

应用领域

暂无

        



            SVTA-O3 Ozone气体传输系统提供超纯臭氧作为MBE或其他真空沉积设备的强氧化剂。它由三个部分组成:臭氧发生器、气体处理传输系统、以及臭氧入射部分。

臭氧传输包括2个步骤:

1. 臭氧生成模式下,双原子氧分子进入臭氧发生器,生成的臭氧存储在温度可调的阱中。所有残余的双原子氧分子经过蒸馏后作为尾气被排走。

2. 在生长模式下,电脑通过控制加热程序,给阱里的臭氧加热,并将阱中的臭氧全部输送到臭氧入射源(此入射源带有水冷却)。然后将臭氧送到腔室内。所有接触到臭氧的部件都能够防止臭氧腐蚀,更高效地利用臭氧。

 

   该系统可与任何MBE相连,集成的触摸屏控制单元使操作更简单方便,占地面积更小。

 全封闭气柜,配有气体安全监控器

 流量精确调节

 入射源配有很短的气体管路,便于快速运行或充气

 RoboMBETM 计算机控制远程操作

 


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