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SVTA-O3 Ozone气体传输系统提供超纯臭氧作为MBE或其他真空沉积设备的强氧化剂。它由三个部分组成：臭氧发生器、气体处理传输系统、以及臭氧入射部分。
臭氧传输包括2个步骤：
1. 臭氧生成模式下，双原子氧分子进入臭氧发生器，生成的臭氧存储在温度可调的阱中。所有残余的双原子氧分子经过蒸馏后作为尾气被排走。
2. 在生长模式下，电脑通过控制加热程序，给阱里的臭氧加热，并将阱中的臭氧全部输送到臭氧入射源（此入射源带有水冷却）。然后将臭氧送到腔室内。所有接触到臭氧的部件都能够防止臭氧腐蚀，更高效地利用臭氧。
该系统可与任何MBE相连，集成的触摸屏控制单元使操作更简单方便，占地面积更小。
● 全封闭气柜，配有气体安全监控器
● 流量精确调节
● 入射源配有很短的气体管路，便于快速运行或充气
● RoboMBETM 计算机控制远程操作
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