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此在线CL系统是监控MBE生长过程的理想选择。
CL可以放置在独立的观察窗位置。
通过RHEED枪以及敏感的光学探测系统，CL可以实时提供材料组分的准确信息，并进行实时光学分析。
部件有8''的前后移动容域度，避免与其他部件相互干扰。
CL通过电子激发技术调节电子能量，可以检测较深的薄膜表面信息。
与其配套的Windows软件操作系统，可以实现操作自动化及图谱分析。
特点
一个端口可以同时监测薄膜成分和光学分析
掺杂水平信息
部件可前后移动，使部件间相互干扰最小化
全电脑控制及分析
光谱范围 | 200-900nm |
分辨率 | 0.5nm |
探测器量子效率 | 25% |
探测器输出 | 10V/nW |
噪音等效 | <250V |
观察窗口 | 2.75''CF |
外部尺寸 | 9.0''X25.5''X10.1'' (22cm×65cm×26cm) |
腔室内尺寸 | 1.25''×13.1'' (3.2cm×34cm) |
行程距离 | 最大8''(20.3cm) |
靶距离 | 2''(5.1cm) |
电脑要求 | Windows 9X，2000，XP |
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