美国SVT 集中传送室/RDC/Cluster Tool
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集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制。
SVTA-CLM-6
最大8''样品
含6个12'' CF法兰端口
6'' CF观察窗
2.75'' CF法兰离子规端口
SVTA-CLM-4
最大5''样品
含4个8''CF法兰端口
4.5''CF观察窗
2.75''CF法兰离子规端口
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