荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪
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光学非图形化缺陷检测设备
Particle颗粒检测
12寸向下兼容
500nm PSL
99%
一、仪器名称：表面颗粒度检测仪
二、品牌型号：荷兰Fastmicro公司FM-PS-SAS-V01型
荷兰Fastmicro FM-PS-SAS-V01型表面颗粒度检测系统，采用采样器在待测样品表面取样，间接测量样品表面颗粒污染水平。采样器从待测样品表面收集颗粒（90%的表面颗粒都会被收集），且不会留下任何残留物。样品测试在几秒钟内即可完成，客户能够在一分钟内完成整个工作流程。
主要用于半导体设备制造商及芯片制造商评价设备及零部件的清洁度，判断设备是否会引入颗粒污染，进而判断设备是否可以用于芯片生产，如果表面有颗粒污染，需要进行清洁才能正常运行。同时该设备可用于监测超净间的洁净水平。
四、原理简介
采用专利技术米氏散射原理检测表面微观颗粒，光源发出的平行光照射待测表面，遇到表面的突起颗粒发生米氏散射，摄像头传感器以一定角度接收到散射信号，根据散射信号可获取关于待测表面颗粒尺寸信息。
五、主要参数
速度 | 225mm2内秒级成像； 整个流程1分钟内完成（取样+测试）； |
数据输出 | 颗粒位置； 颗粒尺寸； 带有粒子标记的图像； 可导出KLARF和Excel文件； 数据通过USB或以太网输出； |
易于操作 | 操作简单； |
检测范围 | 最小可检测500nm大小PSL颗粒； |
重复性 | 更换采样器后, 90%的颗粒被统计，PSL颗粒大于500nm； |
测量精度 | ＜20%（测试PSI颗粒） |
无损，无交叉污染 | 取样器不会引人新的污染，测量过程属于非接触无损测量 |
对取样器和样品处理的要求 | 需要使用经过认证的取样器以及支架； 采样器的污染水平要比客户样品的污染水平低10倍； 洁净室ISO7，等级10000或更高； 可选配粒子沉降模块，用于监测粒子沉降，判断超净间的洁净程度 |
产品尺寸 （长*宽*高） | 615mm*300mm460mm |
六、应用案例
七、选项
（1）取样器
颗粒去除率>90%，并且PMC不会留下任何残留物。采样器存放在一个特定的盒子中。
（2）洁净间粒子沉降监测模块
该模块包含两部分：
n 晶圆支架：用于关键区域的颗粒收集
n 适配器器：将支架固定方便放入表面颗粒扫描仪中进行扫描分析
将标准晶圆放置在晶圆支架上，将晶圆支架放置超净间或者制造地点，持续一段时间检测沉积在晶圆表面的颗粒情况，判断超净间或者制造地点的颗粒沉降水平，符合ISO 14644-17标准，它对评价超净间的洁净程度及洁净室内的相关半导体工艺开发特别有用。
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