SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500
报价 ¥200万 - 300万
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SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统
-SI 500
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，可满足III/V半导体和Si加工工艺领域的的灵活应用。
主要特点:
l 高速率刻蚀
l 低损伤
l 高深宽比刻蚀
l 高工艺一致性
l 平板三螺旋天线式PTSA等离子源 (Planar Triple Spiral Antenna)
l 远程控制
售后服务
1年
是
有
2人，技术中心培训
6个月1次
免费更换零件（非人为因素）
24小时内反应
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