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一、产品介绍
等离子清洗设备在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域，主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
CIF推出的新一代等离子体清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广，性能更稳定，操作更简便，性价比更高，使用成本更低，实用性更强，更容易维护。
二、产品特点
1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
3. 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体分配均匀，经济实用。
4. HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
5.。 316不锈钢、石英真空仓可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
6. 采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
7. 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
8. 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
9. 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
10. 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
11. 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | CPC-F | CPC-Fplus | ICP3 | ICP3 plus |
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L | 3.8L | 3.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电感耦合 | 电感耦合 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计 | |||
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |||
产品尺寸 | L425xW420xH465mm | |||
包装尺寸 | L560xW545xH730mm | |||
时间设定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | |||
电 源 | AC220V 50-60Hz | |||
60天
1年
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